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晶圆激光开槽装备
PRODUCTS & SERVICES
产品与服务
晶圆激光开槽装备
Low-K开槽装备
单焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~8吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1个
HGL1341系列
大尺寸单焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1个
HGL1351系列
适合材料
应用产业
单焦点隐形切割设备
多焦点
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~8吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1.2.3.4个
HGL3341系列
多焦点大尺寸
晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
1.2.3.4个
HGL3351系列
适合材料
应用产业
多焦点隐形切割设备
汎用型双焦点
大尺寸晶圆激光隐形切割设备
适合晶圆
4吋~12吋
晶圆厚度
3μm~1000μm
焦点数量
HGL2351系列
2个
适合材料
应用产业
双焦点隐形切割设备