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TUI系列
晶圆胶带解胶设备
Wafer Tape UV Irradiator
功能说明
胶带解胶设备利用粘结剂对紫外线的光化学反应原理,对固定胶膜进行紫外线照射,改变粘结强度,降低粘性,为后续工序提供合适的保持力度。
采用抽屉式结构,易于操作
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下光源解胶,安全可靠
机构特征
设备优势
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晶圆隐形切割设备