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简体中文
English
激光巴条端面镀膜用陪条产品
HGL Series
产品用途
激光二极管巴条端面处理工艺
1.激光巴条发射面端的处理:
• 刻面钝化工艺
• 增透膜工艺
2.激光巴条反射面端的处理:
• 刻面钝化工艺
• 高反射(HR)镀膜,构建布拉格镜面结构
激光二极管巴条镀膜前堆叠工序
1. 镀膜前需将激光二极管巴条堆叠在专用的镀膜治具内
2. 堆叠后的巴条两侧端面暴露于治具的镀膜窗口
3. 镀膜后将激光巴条堆叠拆开分成单独巴条
激光二极管巴条端面镀膜间隔陪条的用途
1.使用方法:在两个激光巴条之间放入陪条作间隔
2.陪条材质:单晶硅或与巴条同种材料
3.硅间隔陪条的功能:
• 间隔陪条比巴条更长为巴条堆栈提供机械稳定性
• 间隔陪条比激光巴条稍窄,使激光巴条端面稍微
凸出到镀膜腔体中获得更好的覆盖镀膜效果。
• 便于自动拆巴机拆解巴条堆叠,防止在拆解堆叠
过程中损坏镜面镀膜。
制造工艺
1. 产品原料:
• 材料名称:高纯度单晶硅晶圆
• 材料直径:φ150mm
• 材料厚度:110μm
2. 表面品质:
• 抛光镜面/减薄研磨 或 抛光镜面/抛光镜面
3. 外观品质:
• 无弯曲,无变形
• 无崩边,无裂纹
4. 制造工艺
• 隐形激光切割
• 切割后扩膜
陪条产品系列规格
陪条原料质量标准
陪条产品质量标准
更多设备
晶圆隐形切割设备
晶圆胶带解胶设备
晶圆扩晶设备